




準(zhǔn)分子以激發(fā)態(tài)形式存在,準(zhǔn)分子預(yù)混氣出售,壽命很短,僅有10^(-8)S量級(jí),基態(tài)為10^(-13)S量級(jí),準(zhǔn)分子預(yù)混氣報(bào)價(jià),躍遷發(fā)生在低激發(fā)態(tài)和排斥的基態(tài)(或弱束縛)之間,其熒為一連續(xù)帶。由于其熒光譜為一連續(xù)帶,故可以實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)可調(diào)諧運(yùn)轉(zhuǎn)。由于激光躍遷的下能級(jí)(基態(tài))的離子迅速離解,激光下能級(jí)基本為空的,極易實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),因此量子效率很高,接近100%,且可以高重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn)。



準(zhǔn)分子激光器適用于曝光方面的應(yīng)用,如光掩膜版的制作、檢查和量測(cè)。重復(fù)率為1KHz時(shí),激光器能穩(wěn)定發(fā)射輸出能量為16mJ的248nm激光(KrF型號(hào))和6mJ的193nm激光(ArF型號(hào))。它包括一個(gè)激光頭(激光頭安裝在一個(gè)適于潔凈室環(huán)境下使用的不銹鋼盒子里)和一套安裝在工業(yè)PC板單獨(dú)的電源系統(tǒng)。激光器由嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)組件構(gòu)成,可單側(cè)打開進(jìn)行激光頭維修,因此很容易與大多數(shù)工作站進(jìn)行組合使用。



“準(zhǔn)分子激光器”這個(gè)術(shù)語(yǔ),并不是表示單一的器件,而是表征一組具有相似輸出特性的器件。這些激光器都能在幾貼或幾十。時(shí)間內(nèi)發(fā)射紫外或近紫外波長(zhǎng)范圍的強(qiáng)激光脈沖。商業(yè)準(zhǔn)分子激光器通常能以不同混合氣體運(yùn)轉(zhuǎn),能產(chǎn)生多種不同波長(zhǎng)的輸出。這是一種相當(dāng)先進(jìn)的技術(shù),準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商,而且,商業(yè)準(zhǔn)分子激光器件還在不斷發(fā)展中。 雖然,準(zhǔn)分子激光器在商品市場(chǎng)上是一種1新式的器件,但是它們?cè)谘芯繉?shí)驗(yàn)室里已獲得了普遍的承認(rèn),武漢準(zhǔn)分子預(yù)混氣,并且引起潛在工業(yè)用戶的極大興趣,從實(shí)驗(yàn)室的演示迅速過(guò)渡到商業(yè)生產(chǎn),部分原因是如下的巧合:即同一激勵(lì)方法既可用于準(zhǔn)分子激光器,也可用于TEA CO,激光器。



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